導電性材料の体積抵抗率測定

体積抵抗率、表面抵抗率、導電率を、４探針方式で計測します。

ポイント

4探針法とは、4探針プローブを用いて、4端子法で測定した抵抗値から、体積抵抗率、表面抵抗率（シート抵抗）を求める方法です。
抵抗計 RM3545、抵抗計 RM3545A、4探針プローブ、PCアプリケーションソフトウエアで4探針法測定を実現しました。 PCアプリケーションソフトウエアは、弊社4探針プローブに付属するCDのインストーラーからインストールします。

• 4探針プローブは、針間が5.0 mmピッチと1.5 mmピッチの2種あります。通常モードでは、どちらも使用できます。*
• PCアプリケーションソフトウエアは、直方体形状の試料測定用のものと、円柱形状の試料測定用のものの両方が付属します。
• 測定単位は、体積抵抗率、表面抵抗率、導電率です。参考値として抵抗値も選択できます。
• 試料のサイズ、測定位置座標を入力、計算された補正係数も表示します。
• 測定履歴の表示、測定結果のCSV出力など、アプリケーションならではの利便性です。
• 高確度の抵抗計を使用することで、高精度の体積抵抗率を導きます。

* JIS K 7194準拠の測定モードを使用する場合は、使用可能なプローブのピン間が5.0 mmのものに限定されます。JIS K 7194-1994「導電性プラスチックの4探針法 による抵抗率試験方法」は日本規格協会グループが定めた日本の産業規格で隣り合う探針の間隔は5.0 mmと指定されています。

構成

RM9010-01、RM9010-02に付属するPCアプリケーション（直方体試料用と円形試料用）

PCアプリケーションのランタイム実行環境：.NET Framework 4.6.1または.NET Framework 4.6.1以降の互換性のあるもの （.NET Framework は Microsoft®︎社のサポートページから、ダウンロードおよびインストールしてください）

4探針法抵抗計 PCアプリケーション

直方体試料用アプリケーションの入力条件（測定モード：通常測定）

プローブヘッドの向き

x軸と平行な直線上に4本の探針が並ぶように、プローブヘッドを試料に当てます。 プローブヘッドの中心座標が測定位置の座標です。

試料の寸法および、プローブの条件を設定します。設定値の有効桁数は5桁、小数点以下2桁までです。

1. 試料の長辺

試料の長手方向の長さを入力します。

設定可能範囲
- RM9010-01：18 mm～2000 mm
- RM9010-02：6.0 mm～2000 mm

2. 試料の短辺

試料の他方の長さを入力します。

設定可能範囲
- RM9010-01：2.0 mm～長辺の長さ
- RM9010-02：1.5 mm～長辺の長さ

3. 試料の厚さ

試料の厚さを入力します。

設定可能範囲
- RM9010-01：10 ^-9 mm～30 mm
- RM9010-02：10 ^-9 mm～30 mm

4. 測定位置のx座標

プロービング位置のx座標を入力します。プローブヘッドの中心座標を入力してください。

設定可能範囲
- RM9010-01：試料内で、かつ試料の短辺から 8.5 mm以上内側
- RM9010-02：試料内で、かつ試料の短辺から 3.0 mm以上内側

5. 測定位置のy座標

プロービング位置のy座標を入力します。プローブヘッドの中心座標を入力してください。

設定可能範囲
- RM9010-01：試料内で、かつ試料の長辺から 1.0 mm以上内側
- RM9010-02：試料内で、かつ試料の長辺から 0.75 mm以上内側

円形試料用アプリケーションの入力条件 (測定モード：通常測定)

プローブヘッドの向き

x軸と平行な直線上に4本の探針が並ぶように、プローブヘッドを試料に当てます。 プローブヘッドの中心座標が測定位置の座標です。

試料の寸法および、プローブの条件を設定します。設定値の有効桁数は5桁、小数点以下2桁までです。

1. 試料の半径

試料の半径の長さを入力します。

設定可能範囲
- RM9010-01：8.5 mm～500 mm
- RM9010-02：3.0 mm～500 mm

2. 試料の厚さ

試料の厚さを入力します。

設定可能範囲
- RM9010-01：10 ^-9 mm～30 mm
- RM9010-02：10 ^-9 mm～30 mm

3. 測定位置の座標

プロービング位置の座標（x, y）を入力します。プローブヘッドの中心座標を入力してください。

設定可能範囲
- RM9010-01：座標（x, y）は試料内で、かつ試料の端から 8.0 mm以上内側
- RM9010-02：座標（x, y）は試料内で、かつ試料の端から 3.0 mm以上内側

アプリケーションで設定可能な抵抗測定レンジと測定電流

抵抗測定レンジ/測定電流の組は次の通りです。 （1000µΩ/1A：RM3545Aのみ）

10 MΩ/1 μA	1000 kΩ/10 μA	100 kΩ/100 μA	10 kΩ/1 mA	1000 Ω/1 mA	100 Ω/1 mA
10 Ω/1 mA	1000 mΩ/10 mA	100 mΩ/100 mA	10 mΩ/1 A	1000 μΩ/1 A

4探針プローブ RM9010-01、RM9010-02

4探針プローブ ピン間 5.0 mm RM9010-01

短針の材質	母材：ベリリウム銅、メッキ：金（ニッケル下地）
短針の直径	約0.77 mm
短針の先端形状	球面上
短針の配置	一直線上
隣接探針間の間隔	プローブが非測定物に突き当てられた状態で5.0 mm±0.1 mm
隣接探針間の絶縁抵抗	温度23°C、湿度35%RHの雰囲気下において、25 Vを印加したとき10 GΩ以上（参考値）
探針のばね荷重（1本あたり）	プローブを突き当てた状態において1.25 N±0.25 N
対地最大定格電圧	AC 30 V rms以下、AC 42.4 V peak以下、DC60 V以下
定格電流	AC/DC 3 A連続
使用温湿度範囲	0°C〜40°C、80% RH以下（結露しないこと）
保存温湿環境	-10°C〜50°C、80% RH以下（結露しないこと）
使用場所	屋内使用、汚染度2、高度2,000 mmまで
外径寸法	約1500 mm
質量	約200 g

4探針プローブ ピン間 5.0 mm RM9010-01 外観図

4探針プローブ ピン間 1.5 mm RM9010-02

短針の材質	母材：ベリリウム銅、メッキ：金（ニッケル下地）
短針の直径	約0.5 mm
短針の先端形状	球面上
短針の配置	一直線上
隣接探針間の間隔	プローブが非測定物に突き当てられた状態で1.5 mm±0.1 mm
隣接探針間の絶縁抵抗	温度23°C、湿度35%RHの雰囲気下において、25 Vを印加したとき10 GΩ以上（参考値）
探針のばね荷重（1本あたり）	プローブを突き当てた状態において約0.85 N
対地最大定格電圧	AC 30 V rms以下、AC 42.4 V peak以下、DC60 V以下
定格電流	AC/DC 1.5 A連続
使用温湿度範囲	0°C〜40°C、80% RH以下（結露しないこと）
保存温湿環境	-10°C〜50°C、80% RH以下（結露しないこと）
使用場所	屋内使用、汚染度2、高度2,000 mmまで
外径寸法	約1500 mm
質量	約150 g

4探針プローブ ピン間 1.5 mm RM9010-02 外観図