フライングプローブテスタ
FA1815-20

効率と信頼性の向上で基板生産を次のレベルへ

● 最速100 points/sec の高速検査とプロービング精度向上の両立 ● 測定対象にやさしい10 V/100 GΩの低電圧絶縁抵抗計測 ● プローブカード用基板の検査に最適

FA1815-20製品紹介動画

FA1815-20は、最先端のIT技術に用いられる高密度基板の検査に向けたフライングプローブテスタです。最速100ポイント毎秒の検査スピードと高いプローブ位置精度、また10Vの電圧で100GΩの高い絶縁抵抗を検査できる機能を搭載しています。プローブカードをはじめとした高密度基板の検査時間短縮と、潜在不良を排除した高い品質を実現し、半導体産業の生産性向上に貢献します。

仕様

仕様 概略仕様

アーム数4 (上面2, 下面2)
取付可能プローブ1172シリーズ、CP1072シリーズ、CP1073シリーズ
検査ステップ数4,000,000 ステップ
検査項目・測定範囲直流定電流導通測定400.0 mΩ〜1.000 kΩ
直流定電流抵抗測定40.00 μΩ〜400.0 kΩ
直流定電圧抵抗測定4.000 Ω〜40.00 MΩ
絶縁抵抗測定1.000 kΩ〜100.0 GΩ
低電圧絶縁抵抗測定1.000 MΩ〜 100.0 GΩ
交流定電圧静電容量測定100.0 fF〜10.00 μF
漏れ電流測定1.000 μA〜100.0 mA
高電圧抵抗測定1.000 kΩ〜100.0 GΩ
キャパシタ絶縁測定1.000 kΩ〜250.0 MΩ
オープン測定4.000 Ω〜4.000 MΩ
部品内蔵基板検査項目LSI接続検査0.000 V〜12.00 V
交流定電圧抵抗測定10.00 Ω〜100.0 kΩ
交流定電圧静電容量測定10.00 pF〜100.0 μF
交流定電圧インダクタンス測定1.000 μH〜1.000 mH
判定範囲-99.9%〜+999.9%, または絶対値
移動最小分解能XYZ:0.1 μm
最小パッドピッチ上面:34 μm(CP1075-09使用時)
下面:44 μm(CP1075-09使用時)
最小パッドサイズ上面:4 μm(CP1075-09使用時)
下面:14 μm(CP1075-09使用時)
測定スピードMax. 100 points/s (0.15 mm移動・4アーム同時プロービング, 容量測定時)
検査可能基板厚さ: 1〜12 mm, 外形: 50W × 50D〜340W × 340D mm
最大検査可能エリア340W × 340D mm
基板固定ユニバーサル基板固定ジグ または 静電容量測定用吸着プレート(オプション)
使用エアー1次側圧力0.5MPa ~ 0.99MPa(乾燥エアー)
最大消費量0.3L/min (ANR)
電源AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V単相 (発注時指定) 50/60 Hz, 5 kVA
寸法・質量1355W × 1190H × 1265D mm (突起物除く), 1100 kg±50 kg


価格

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資料・カタログ

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