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効率と信頼性の向上で基板生産を次のレベルへ
FA1815-20は、最先端のIT技術に用いられる高密度基板の検査に向けたフライングプローブテスタです。最速100ポイント毎秒の検査スピードと高いプローブ位置精度、また10Vの電圧で100GΩの高い絶縁抵抗を検査できる機能を搭載しています。プローブカードをはじめとした高密度基板の検査時間短縮と、潜在不良を排除した高い品質を実現し、半導体産業の生産性向上に貢献します。
仕様 概略仕様
| アーム数 | 4 (上面2, 下面2) | |
|---|---|---|
| 取付可能プローブ | 1172シリーズ、CP1072シリーズ、CP1073シリーズ | |
| 検査ステップ数 | 4,000,000 ステップ | |
| 検査項目・測定範囲 | 直流定電流導通測定 | 400.0 mΩ〜1.000 kΩ |
| 直流定電流抵抗測定 | 40.00 μΩ〜400.0 kΩ | |
| 直流定電圧抵抗測定 | 4.000 Ω〜40.00 MΩ | |
| 絶縁抵抗測定 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
| 低電圧絶縁抵抗測定 | 1.000 MΩ〜 100.0 GΩ | |
| 交流定電圧静電容量測定 | 100.0 fF〜10.00 μF | |
| 漏れ電流測定 | 1.000 μA〜100.0 mA | |
| 高電圧抵抗測定 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
| キャパシタ絶縁測定 | 1.000 kΩ〜250.0 MΩ | |
| オープン測定 | 4.000 Ω〜4.000 MΩ | |
| 部品内蔵基板検査項目 | LSI接続検査 | 0.000 V〜12.00 V |
| 交流定電圧抵抗測定 | 10.00 Ω〜100.0 kΩ | |
| 交流定電圧静電容量測定 | 10.00 pF〜100.0 μF | |
| 交流定電圧インダクタンス測定 | 1.000 μH〜1.000 mH | |
| 判定範囲 | -99.9%〜+999.9%, または絶対値 | |
| 移動最小分解能 | XYZ：0.1 μm | |
| 最小パッドピッチ | 上面：34 μm（CP1075-09使用時） 下面：44 μm（CP1075-09使用時） | |
| 最小パッドサイズ | 上面：4 μm（CP1075-09使用時） 下面：14 μm（CP1075-09使用時） | |
| 測定スピード | Max. 100 points/s (0.15 mm移動・4アーム同時プロービング, 容量測定時) | |
| 検査可能基板 | 厚さ: 1〜12 mm, 外形: 50W × 50D〜340W × 340D mm | |
| 最大検査可能エリア | 340W × 340D mm | |
| 基板固定 | ユニバーサル基板固定ジグ または 静電容量測定用吸着プレート（オプション） | |
| 使用エアー | 1次側圧力0.5MPa ～ 0.99MPa(乾燥エアー) 最大消費量0.3L/min (ANR) | |
| 電源 | AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V単相 (発注時指定) 50/60 Hz, 5 kVA | |
| 寸法・質量 | 1355W × 1190H × 1265D mm (突起物除く), 1100 kg±50 kg | |
| 形名（発注コード） | 説明 | 価格 |
|---|---|---|
| FA1815-20 | 水平型両面 | お見積り |
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