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超・低シャント時代に対応する抵抗計
RM3543-01
抵抗計RM3543は低シャント抵抗などの直流抵抗を0.1mΩを±0.16％の高確度、0.01μΩの高分解能※で測定することができます。（※10mΩレンジ、測定スピードSLOW、アベレージ16回を設定した条件において）
熱起電力とは、異種金属の接続部分に生じる電位差のことです（図）。具体的には測定プローブと測定対象が接触する部分、測定器と測定リードの接続部分に生じます。熱起電力の大きさは測定環境の温度によっても異なり、温度差が大きいほど熱起電力は大きくなります。RM3543は測定電流を正負の両方に流し、それぞれの検出電圧を用いて、熱起電力の影響を除去するオフセット電圧補正機能を搭載しています。
スケーリング機能により、基板実相時と単品で検査時の抵抗値の差異（プロービング位置の影響など）を補正することができます。シャントなど低抵抗の電流検出抵抗の検査に威力を発揮します。
測定試料へのコンタクト時にプローブと試料間の酸化皮膜や汚れを突き破り、接触改善します。接触不良の改善で安定した測定、そしてコンタクトエラー率が低減され、生産性の向上につながります。
測定プローブのPOT-CUR間に金属異物があると、確実な４端子接続を維持できなくなります。非測定時にPOT-CUR間の抵抗値を測定し、プローブの短絡異常をチェックします。
