フライングプローブテスタ
FA1813

パッケージ基板検査のフラッグシップモデル

● 微細パットの4端子測定 ● 最新プローブの組み合わせで打痕撲滅 ● 「プロセスアナライザー」による不良解析 360°回転画像を見る

FA1813特徴

上面アームの基板位置補正には従来比2 倍の高画素数カメラと高倍率レンズ(光学2 倍)を採用し、高密度パッケージ基板の微細パッドへの正確なプロービングを実現しました。 新機能の「コンタクトチェック付きプローブダウン」は最適なプローブストロークを可能とし、最小限の打痕でパッドへのダメージを低減します。

仕様

概略仕様 

アーム数上面2,下面2
取付可能プローブ1172シリーズ,CP1072シリーズ,CP1073シリーズ
検査ステップ数999,999ステップ
検査項目・測定範囲直流定電流導通測定400.0μΩ〜400.0 kΩ
直流定電流抵抗測定40.00μΩ〜400.0 kΩ
直流定電圧抵抗測定4.000 Ω〜40.00 MΩ
絶縁抵抗測定1.000 kΩ〜100.0 GΩ
交流定電圧静電容量測定100.0 fF 〜10.00μF
漏れ電流測定1.000 μA 〜10.00 mA
高電圧抵抗測定1.000 kΩ 〜100.0 GΩ
キャパシタ絶縁測定1.000 kΩ 〜10.00 MΩ
オープン測定4.000 Ω 〜4.000 MΩ
ショート測定400.0 mΩ 〜40.00 kΩ
LSI 消費電流検査100.0 nA 〜100.0 mA
交流定電圧抵抗測定10.00 Ω 〜10.00 kΩ
交流定電圧静電容量測定10.00 pF 〜100.0 μF
交流定電圧インダクタンス測定1.000 μH 〜1.000 mH
判定範囲-99.9% 〜+999.9%, または絶対値
移動最小分解能XY:0.1 μm / pulse , Z: 1 μm / pulse
最小パッドピッチ上面:32um(CP1075-09 使用時)
下面:44um(CP1075-09 使用時)
最小パッドサイズ上面: 2um(CP1075-09 使用時)
下面:14um(CP1075-09 使用時)
測定スピードMax. 76 points/s (0.15 mm 移動・4 アーム同時プロービング, 容量測定時)
検査可能基板厚さ: 0.5 〜2.5 mm, 外形: 50W × 50D 〜400W × 330D mm
最大検査可能エリア398W × 304D mm
基板固定基板2辺ホールド方式
電源AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V単相 ( 発注時指定) 50/60 Hz, 5 kVA
寸法・質量1355W × 1200H × 1265D mm ( 突起物除く), 1130 kg±20 kg


価格

形名(発注コード) 説明 価格 HIOKI Online Store
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